機器視覺

• 酸洗槽內晶圓破片監控
• 智能視覺檢測 - 位移偏差
• 晶圓視覺辨識系統

新光學量測

• 晶圓缺陷巨觀檢測 AOI / ADI / AEI
• 金相顯微鏡
• 數位顯微鏡
• 薄膜厚度量測 FilmChek AS150
• 晶圓表面輪廓儀 OptiProfiler
• 智慧機器視覺系統
• 2D_3D Hybrid Metrology 晶圓光學檢測設備

顯微鏡維修

• 晶片承載平台
• 鼻輪維修 / 交換

半導體中古設備 銷售 / 維修

• KLA-Tencor Surfscan
• RS75
• UV1050
• Nikon OST3/ OST5/ NWL/ Optiphot 200
• FSM128

LED Sapphire Surfscan

• LED Sapphire Surfscan