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LED Sapphire Surfscan

晶圓製成對位量測機 Overlay chek
晶圓製成對位量測機 Overlay chek
產品解說
承湘科技成功研發自動傳送機構,結合可見光量測模組,應用於晶圓結購尺寸與對位確認檢測,有效協助客戶節省量測時間與提高精度,是黃光製程不可或缺的首選方案。 *原理:藉由可見光來量測樣本 *解析度:0.055um@100x ,0.11um@50x,0.275um@20X ,0.55um@10x *晶圓尺寸:2” ~12” *功能 1.自動傳送 2.自動對焦 3.粗對位 4.細對位 5.由程式設計量測點位 *量測結果:關鍵尺寸,堆疊偏差