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晶圓製程對位量測機 Overlay chek
晶圓製程對位量測機 Overlay chek
產品解說
承湘科技成功研發自動傳送機構,結合可見光量測模組,應用於晶圓結購尺寸與對位確認檢測,有效協助客戶節省量測時間與提高精度,是黃光製程不可或缺的首選方案。
*原理:藉由可見光來量測樣本
*解析度:0.055um@100x ,0.11um@50x,0.275um@20X ,0.55um@10x
*晶圓尺寸:2” ~12”
*功能
1.自動傳送
2.自動對焦
3.粗對位
4.細對位
5.由程式設計量測點位
*量測結果:關鍵尺寸,堆疊偏差

影片介紹 :視覺影像介紹影片CXsemi youtube channel.左邊有連結,歡迎點閱參考。