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酸洗槽內晶圓破片監控
酸洗槽內晶圓破片監控
產品解說
協助半導體晶圓廠客戶，在酸洗槽內針對有晶圓破片的情況發生時，及時將單槽動作暫停，確保下批晶圓產品不會進來接觸而受損。